概要    

軟性顯示器之濕制程設(shè)備，是將光學(xué)級的軟性透明導(dǎo)電層經(jīng)過連續(xù)式的光阻涂布、曝光、顯影、蝕刻制程完成所需要的透明電極 。    

Rise-tech持續(xù)開發(fā)Roll to Roll軟性顯示器濕制程設(shè)備，并在制程設(shè)備系統(tǒng)加入許多自有Know How。為了測試不同蝕刻液對軟性透明導(dǎo)電基板的蝕刻特性，如草酸、王水、鹽酸、硫酸系統(tǒng)，必須更換槽體、管路的材質(zhì)，現(xiàn)已掌握并精度應(yīng)用各種蝕刻液對濃度、溫度、時間的蝕刻參數(shù)數(shù)據(jù)庫。    

  連續(xù)式導(dǎo)電層圖案化制程技術(shù)    

  制程目標(biāo)與說明：

卷對卷面板顯示行業(yè)設(shè)備

卷對卷清洗機(jī) Roll to Roll Cleaner    

清洗方式與機(jī)構(gòu):放板進(jìn)料→入料→脫脂→加壓水洗*3→BJ洗凈→純水洗→吹干/烘干→出料→收板出料
具除靜電模塊    

 卷對卷老化爐 Roll to Roll Aging

卷對卷涂布機(jī)＋烘烤 Roll to Roll Coater&Baker    

涂布膜厚范圍: 5μm～10μm
具干燥模塊
膜厚均勻性 ±5%
具除靜電模塊    

卷對卷顯影蝕刻剝膜機(jī) ITO Film DES Line    

顯影槽
蝕刻槽 (可使用混酸系統(tǒng))
具水洗槽及風(fēng)刀模塊
具除靜電模塊    

顯影藥液段噴盤擺動設(shè)計: 增加藥液反應(yīng)均勻性穩(wěn)定度
藥液槽洗槽設(shè)計:自動洗槽設(shè)計,確保Maintain時人員操作安全
Tank間接加熱設(shè)計: 有效控制溫度精準(zhǔn)度
藥液段液位設(shè)計: 達(dá)成計時計片添加需求
Cone Type 噴嘴設(shè)計: 強(qiáng)調(diào)顯影均勻性
磁性環(huán)傳動: 防止Particle產(chǎn)生
滾輪設(shè)計: UPE Roller(三件式) 增加傳動穩(wěn)定度以及防止輪以及刮傷產(chǎn)生